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그라인더

그라인더란?

풀 오토매틱 그라인더 8000시리즈

풀 오토매틱 그라인더 DFG830

세미 오토매틱 그라인더 DAG810

			최대 대응 웍 사이즈	스핀들 축개수	척 테이블 수	어플리케이션
그라인더	800 시리즈	DAG810	8"	1	1	반도체 디바이스, 세라믹
	800 시리즈	DFG830*	8"	2	2	웨이퍼 양면연삭
	8000 시리즈	DFG8540	8"	2	3	웨이퍼 이면연삭
		DFG8560	300mm	2	3	웨이퍼 이면연삭
		DFG8830	6"	4	5	사파이어나 SiC 등 경취재료

(*) 생산종료

주변기기	상세

신 프로세스	상세

정밀가공장치

다이싱쏘(Dicing Saw),
커팅쏘(Cutting Saw)

레이저쏘(Laser Saw)

그라인더(Grinder)

8000시리즈 풀 오토

800시리즈 풀 오토

800시리즈 세미 오토

Specification Comparison Chart

폴리셔(Polisher),
드라이 에쳐(Dry etcher)

멀티 웨이퍼 마운터(Wafer Mounter)

다이 세퍼레이터
(Die Separator)

표면 평탄화 절삭기
(Surface Planer)

워터제트쏘 장비
(WaterJet Saw)

신 프로세스 대응제품

정밀가공도구

다이싱 블레이드

그라인딩 휠

드라이 폴리싱 휠

안전한 사용을 위해

기타 제품

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SECS/GEM Communication Specification Downloads

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