솔루션

순수 재활용장치 DWR1721

DWR1721은 다이싱 쏘용 초소형 순수 재활용 시스템입니다. 순수제조, 여과, 정온수 공급, 폐액처리 등 종전에는 개별 장치로 실시해왔던 기능을 한 대의 장비로 집약하였습니다. 본 장비 한 대로 듀얼 다이싱 쏘 2대 혹은 싱글 다이싱 쏘 4대까지 대응 가능.
고액의 설비투자가 불필요하며, 저가격으로 순수 재활용 시스템을 구축할 수 있습니다.

DWR1721의 사양은 여기를 참조하십시오.

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순수 재활용시스템을 저렴한 비용으로 구축

DWR1721은 종전의 대형 순수 재활용시스템과 비교하여, 초기비용 및 운영 모두 저 코스트화를 실현. CoO를 낮게 억제하면서도 고객의 요구에 맞춘 순수 재활용시스템을 구축할 수 있습니다.

	초기비용의 절감 1- 초소형이므로, 전용 건물이나 배관공사가 불필요 -
	종전의 대형 순수 재활용시스템에서는 "순수제조" "여과" "폐액처리" 등의 설비를 격납하는 개별 건물이나 배관공사가 필요하며, 때문에 고액의 초기비용이 요구되어 왔습니다. DWR1721은 공간절약 설계(W450 x D1,302mm)로 다이싱 쏘에 인접하여 클린 룸 내에 설치가 가능합니다. 때문에, 전용 건물이나 그에 따른 배관이 불필요하게 되며, 초기비용을 큰 폭으로 억제할 수 있습니다.	* 화상 클릭으로 확대 표시

	초기비용의 절감 2- 생산량에 맞게 유연한 설비 도입 -
	DWR1721은 다이싱 쏘의 가동 대수에 맞게 도입, 가동할 수 있으며(듀얼 다이싱 쏘일 경우 2대, 싱글 다이싱 쏘의 경우 4대까지 대응), 고객의 생산량 증감에 맞게 유연하게 설비를 도입할 수 있습니다. 필요 이상의 대규모 설비를 도입할 필요가 없으므로, 감가상각이나 소모품 등의 비용을 낮게 억제할 수 있어, CoO 저감을 실현합니다.

	운영비용의 절감 1- 낮은 시수 소비 -
	디스코의 독자적인 고성능 필터인 "CC Filter" 를 채택하여, 순수 사이클 비율 99.8%를 달성함과 함께 폐수 제로를 실현했습니다. (0.2%는 기화에 의한 감소분) 이에 따라 비 재활용 순수제조 시스템과 비교하여, 시수의 사용량을 1/500까지 삭감할 수 있습니다.

	운영비용의 절감 2- 낮은 소비전력 -
	순수 재활용 비율이 높아 수온 변화가 적으므로, 절삭수와 스핀들 냉각수의 온도조정 부하를 절감하여, 종전의 "재활용 시스템 + 정온수 공급장치" 와 비교하여 소비전력을 큰 폭으로 절감했습니다.

	운영비용의 절감 3- 파이널 필터의 장기 수명화 -
	디스코의 독자적인 저렴한 1회용 필터 모듈인 "CC Filter" 를 1차 여과로 사용하여, 고가인 파이널 필터의 장기 수명화를 실현했습니다.

생산성 향상

셋업 중"과 "에러 발생" 등의 상태 정보를 DWR1721과 다이싱 소(Dicing Saw) 사이에서 공유할 수 있어 연계동작이 가능합니다.
통신기능을 통해 순수 공급 후 다이싱 소(Dicing Saw)에서의 가공 개시 및 가공 정지 후 순수 공급의 자동 정지 가능 등, 장치 오퍼레이터의 관리 부담을 절감할 수 있어 생산성이 향상됩니다.

설치 자유

드레인수 압송 기능
DWR1721로 순수를 제조할 때 사용되는 시수에서는 RO 필터로 여과할 때 미약하게 드레인수(농축폐수)가 발생합니다. DWR1721에는 이 드레인수를 압송하는 펌프가 장착되어 배수구에서 멀리 떨어진 장소라도 장치 사용이 가능합니다.
절삭폐수 압송용 소형 탱크(옵션)
다이싱 소(Dicing Saw)에서 배출되는 절삭폐수를 DWR1721로 압송할 수 있는 소형 탱크를 옵션으로 준비했습니다. 기존에 절삭폐수는 다이싱 소와 DWR간의 배관을 기울여 송수했기 때문에 DWR과 다이싱 소의 설치장소 및 거리에 제약이 있었지만, 이 소형 탱크에 의해 그러한 제약을 해소할 수 있게 되었습니다.

안정성

DWR1721은 다이싱쏘 2~4대의 그룹에서 독립된 순수순환 시스템이므로, 하나의 시스템에 불순물 혼입 혹은 시설사고가 발생으로 하여도 그외 그룹에는 전혀 영향을 끼치지 않습니다. 따라서, 종래와 같이 순수순환설비의 사고로 인한 다이싱쏘 그룹 전체의 운전정지가 발생하는 우려가 없습니다.

[CC Filter]

DWR1721의 장치 소형화, 높은 재활용 비율을 실현하는 신개발 CC Filter


•	1회용 필터 모듈로 메인터넌스가 용이
	-	필터교환에 걸리는 시간은 약 15분.
		또한 자사에서 교환이 가능하므로, 정지시간을 최소화할 수 있습니다.
•	Deadend 여과방식()을 채택하여, 장치를 소형화 Deadend 여과방식이란?
•	필터 소재, 구조를 최적화하여, 여과성능을 향상
	-	순수 재활용 비율 99.8%(0.2%는 기화에 의한 감소분)
•	저렴한 CC Filter의 1차 여과로, 고가인 파이널 필터를 큰 폭으로 장기 수명화
•	사이즈: Φ340 x H150 mm

〔DWR1721 전용 CO₂ 인젝터(옵션)〕

CO₂ 인젝터는 다이싱 소(Dicing Saw)에서의 가공 시 사용되는 절삭수(순수)에 탄소 가스(CO₂ 가스)를 용해시킨 것으로, 전도성을 높여 가공 중인 가공물의 대전전류를 줄이고 정전파괴나 파티클 부착을 절감하기 위한 장치입니다. DWR1721 전용 CO₂ 인젝터는 탄소 가스 봄베를 케이스에 내장할 수 있어 설비측의 제약을 받지 않고 탄소 가스를 공급할 수 있습니다. 때문에 DWR1721 및 다이싱 소(Dicing Saw)의 설치 자유도를 더욱 향상시킬 수 있습니다. (기존 기기는 설비측에 탄소 가스 공급 기능이 필요) DWR1721과의 통신 기능을 탑재하여, DWR1721에서 CO₂ 인젝터를 조작할 수 있습니다. 처리유량 30L/min이며 풀 오토 다이싱 소(Full Auto Dicing Saw) 2대 분의 절삭수를 1대로 처리할 수 있습니다. (기존의 다이싱 소 전용 기기는 Max.15L/min)

DWR1721 활용 예

	-	기존 설비가 풀 가동상태로, 생산 증가를 위한 순수제조 능력이 다소 부족하다
	-	순수를 재활용하여, 순수비용을 절감하고자 한다
	-	순수 재활용설비를 다이싱 쏘의 대수에 맞게 낭비 없이 늘려가고자 한다
	-	대학이나 연구기관 등 생산규모가 작다