DFG8360Fully Automatic Grinder
研削により優れた平坦性を実現する高精度グラインダ
- Φ300 mmウェーハ対応
- 1軸2チャックテーブル
ウェーハ製造における平坦化工程では一般的にバッチ式のラッピングが用いられます。DFG8360による平面研削の導入により、ラッピングの負荷を最小限にしつつ枚葉加工による安定した厚み調整が可能となります。さらに、ファインメッシュホイールを採用することで研磨工程での負荷を低減し、加工時間短縮による生産性向上を実現します。
ウェーハ製造プロセス
連続加工でも高い安定性
DFG8360は高剛性/低振動スピンドルを採用することで熱や振動が加工精度へ与える影響を低減し、安定した連続加工を実現します。
ウエーハ形状の調整
DFG8360を用いた平面研削では加工点の制御により任意のウェーハ形状に調整可能です。そのため、後続工程の要求に応じた形状を指定することで、高品質なウエーハ製造を実現します。
ワークフローシステム
- ロボットピックが、カセットからウェーハを搬出、ポジションテーブルへ搬送
- ポジションテーブルにて、位置決め
- 搬送アーム1にて、ポジションテーブルからウェーハを受け取り、ウェーハ裏面洗浄
- チャックテーブルへ搬送
- 研削
- 搬送アーム2にて、チャックテーブルからウェーハを受け取り
- ウェーハをスピンナテーブルへ搬送
- スピンナテーブルにて、ウェーハの洗浄/乾燥
- ロボットピックが、スピンナテーブルからウェーハを受け取り、カセットへ収納
仕様
| 仕様 | 単位 | ||
|---|---|---|---|
| 研削可能ウェーハ径 | - | Φ300 mm | |
| 研削方式 | - | ワーク回転によるインフィード研削 | |
| 使用ホイール | - | Φ300 mm ダイヤモンドホイール | |
| スピンドル | 定格出力 | kW | 7.5 |
| 定格トルク | N・m | 17.9 | |
| 回転数範囲 | min‐1 | 1,000 ～ 4,500 | |
| 装置寸法（W × D × H） | mm | 1,000 × 3,050 × 2,000 | |
| 装置質量 | kg | 約 4,000 | |
※ ご使用にあたっては、あらかじめ標準仕様書をご確認下さい。
※ 各事項、および仕様は改良のため、断りなく変更することがあります。
製品ラインナップ
| 装置タイプ |
| スピンドル数 |
| C/T数 |
| 寸法（W × D × H） |
| 質量（kg） |
 |  |  |  |  |  |  |  |  |  |  |
| DAG810 | DAG811 | DFG8340 | DFG8540 | DFG8541 | DFG8560 | DFG8640 | DFG8830 | DFG8020 | DGP8761 | DGP8762 |
| オートマチック | オートマチック | フルオートマチック | フルオートマチック | フルオートマチック | フルオートマチック | フルオートマチック | フルオートマチック | フルオートマチック | フルオートマチック | フルオートマチック |
| 1 | 1 | 1 | 2 | 2 | 2 | 2 | 4 | 3 | 3 | |
| 1 | 1 | 2 | 3 | 3 | 3 | 3 | 5 | 4 | 4 | |
| 600 × 1700 × 1780 | 600 × 1500 × 1800 | 800 × 2450 × 1800 | 1200 × 2670 × 1800 | 1100 × 2800 × 1800 | 1400 × 3190 × 1800 | 1000 × 2800 × 1800 | 1400 × 2500 × 2000 | 1690 × 3315 × 1800 | 1690 × 3451 × 1800 | |
| 1300 | 1600 | 2500 | 3100 | 3000 | 4000 | 3500 | 6000 | 6700 | 6850 |
DFG8360Fully Automatic Grinder
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