半導体製造装置メーカー・株式会社ディスコ（本社：東京都大田区、社長：関家 一馬）は、スマートフォンやPC等の端末で、複数の精密加工装置を監視・制御できるシステムを開発しました。SEMICON Japan 2018（12/12-14：東京ビッグサイト）にて本システムをコンセプト展示いたします。

装置監視・制御システム概要

メリット

離れた場所からの一括対応

• 装置ダウンタイムの削減
  従来、オペレータが各装置のモニタで個別に行っていた監視・制御を、一括して、かつ装置から離れた場所においても実施できるため、ダウンタイムの削減が期待できます。例えば、ある装置のウェーハカセット交換と別装置のブレード交換タイミングを知らせるメッセージが端末に届いた場合、交換用のカセットとブレードをまとめて現場に持参することで、ダウンタイムを削減することができます。
• オペレータコスト減
  半導体製造装置が設置されているクリーンルームの外側からの監視・制御が可能です。そのため、防塵服への着替えやエアシャワーの通過等、クリーンルームに出入りするオペレータに都度発生する時間を抑制することができます。

Webブラウザを使用

• 専用の端末は不要
  Webブラウザを使用しているシステムのため、既存のインターネット環境が活用できる上、専用アプリケーションやソフトのインストールは不要です。そのため、別用途で使用中のスマートフォンやタブレット、PCなどを兼用することができます。また、複数の端末で同一装置グループを監視・制御できるため、オペレータ間の端末の受け渡しも不要です。

今後の予定